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2014年12月30日 星期二

Poly_2




3.通用CMOS製作過程

首先在晶片上,生長一層墊氧化物,再沉積氮化物和光阻,隨後蓋上Diff光罩做顯影,如圖七(a)所示。再來進行蝕刻,蝕刻會滲入晶片內部形成溝槽如圖七(b)所示,為了隔離主動區,在溝槽中填入  如圖七(c)所示。圖七(d)中分別植入兩種不同的摻雜,並以光阻顯影兩次選擇調節臨界電壓區塊。經過多次多晶矽的沉積與顯影結果後如圖七(e)所示,暫將Poly作光罩,植入電晶體的輕摻雜汲極LDD(防止源極或汲極區域電場過高),如圖七(f)所示。再來便是在Poly兩旁聲場氧化物而後進行N/P植入,如圖七(g)所示,最後一步,為降低電阻值過高,因此對個極區進行矽化物沉積,如圖七(h)所示。



4.佈局繪製
NMOS:
圖八為NMOS的佈局圖,在上文中有提到Poly穿越Diff便是一個MOS,而其源極、汲極是可以相互交換使用的。



Diffusion_1


Diffusion與Poly

1.層級介紹
Diffusion:
圖一中的方塊開口是由Diff層所繪製的,稱作主動區,用以製作MOS,而其他由矽氧化層所構成的非主動區則採佈線用。
 













PIMP:
所要摻雜的半導雜質,藉由Diff層外圍所繞的PIMP或NIMP決定,如圖二(a)到(d)所示。